
模块化动静态全自动测试系统

产品简介
该系统集成静态与动态电性能测试功能,适用于IGBT、SiC
MOSFET等功率器件的生产和研发过程。系统采用模块化架构,可灵活配置测试单元,实现TO-247、TO-220、TO-264、SOT-227等引脚封装及DBC裸片器件的快速切换。支持自动夹持、自动探针定位、自动参数测试及数据记录功能,兼容工业与车规标准,适用于中小型企业或实验室中低端应用场景。

核心参数
静态测试模块 | |
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测试项目 | VGE(th)、IC-VCE、RDS(on)(适用于MOSFET)、漏电流、栅漏电流等 |
电压输出范围 | 0~6000V DC(±0.5%精度,典型值±0.3%) |
电流输出范围 | 0~2000A DC(±1%精度,典型值±0.8%) |
最小电压分辨率 | 1μV(18-bit ADC精度) |
最小电流分辨率 | 10μA(20-bit DAC驱动) |
电压调整速率 | 可编程,0.1V/ms ~ 100V/ms |
电流过载保护 | 软件+硬件双重限流控制(触发延时<5μs) |
测温支持 | 可选温控夹具,支持室温至150°C控制测试 |
动态测试模块 | |
支持测试项目 | 双脉冲测试、开关损耗测试、反向恢复特性、共模/差模干扰测试 |
带宽 | 500 MHz(-3dB,使用低阻抗探头) |
采样率 | 2.5 GS/s(每通道独立采样,支持深存储>50M点) |
隔离通道数量 | 4通道(光电隔离) |
电压探头 ×2 | 最大量程±2000V,精度±0.8%,共模抑制比≥60dB@100MHz |
电流探头 ×2 | 霍尔或电流互感器输入,最大量程±1000A,频率响应10Hz~50MHz |
驱动电路 | 内置双脉冲门极驱动器(±15V/2A输出),上升/下降时间<50ns,可调 |
兼容性与标准支持 | |
支持封装类型 | TO-220、TO-247、TO-264、SOT-227、DBC、裸晶片测试平台(需选配) |
测试标准支持 |
AEC-Q101(车规标准)测试项目完整覆盖:VBR、IGSS、VCE(sat)、td(on/off)、Eon/Eoff
等 IEC 60747-9(工业用半导体器件测试标准)动态响应、电气特性规范 |
测试环境要求 | |
操作温度 | 10~35°C |
湿度范围 | 20~80% RH(无凝露) |
电源要求 | AC 220V ±10%,50/60Hz,功率≤2kW |
系统性能 | |
测试速度 | ≤30秒/器件(包含静态+动态参数全覆盖,自动切换) |
自动化功能 | |
自动探针压接检测 | 接触确认 |
测试失败报警与标记系统 | 支持 |
批量测试与数据导出 | 支持CSV、Excel、SQL兼容 |
用户界面 | |
屏幕 | 触控式HMI屏幕(10.1英寸) |
上位机软件 | 支持Windows 10/11,USB或LAN接口连接 |
自定义功能 | 测试流程、判定条件、报表模板可自定义 |
扩展性与选配模块 | |
温控平台 | 室温~150°C |
高频大电流驱动器 | >5A门极驱动 |
高压绝缘探头 | 支持 |
自动进样机械臂接口 | 适配流水线 |