模块化动静态全自动测试系统​​

产品简介

该系统集成静态与动态电性能测试功能,适用于IGBT、SiC MOSFET等功率器件的生产和研发过程。系统采用模块化架构,可灵活配置测试单元,实现TO-247、TO-220、TO-264、SOT-227等引脚封装及DBC裸片器件的快速切换。支持自动夹持、自动探针定位、自动参数测试及数据记录功能,兼容工业与车规标准,适用于中小型企业或实验室中低端应用场景。

核心参数

静态测试模块
测试项目 VGE(th)、IC-VCE、RDS(on)(适用于MOSFET)、漏电流、栅漏电流等
电压输出范围 0~6000V DC(±0.5%精度,典型值±0.3%)
电流输出范围 0~2000A DC(±1%精度,典型值±0.8%)
最小电压分辨率 1μV(18-bit ADC精度)
最小电流分辨率 10μA(20-bit DAC驱动)
电压调整速率 可编程,0.1V/ms ~ 100V/ms
电流过载保护 软件+硬件双重限流控制(触发延时<5μs)
测温支持 可选温控夹具,支持室温至150°C控制测试
动态测试模块
支持测试项目 双脉冲测试、开关损耗测试、反向恢复特性、共模/差模干扰测试
带宽 500 MHz(-3dB,使用低阻抗探头)
采样率 2.5 GS/s(每通道独立采样,支持深存储>50M点)
隔离通道数量 4通道(光电隔离)
电压探头 ×2 最大量程±2000V,精度±0.8%,共模抑制比≥60dB@100MHz
电流探头 ×2 霍尔或电流互感器输入,最大量程±1000A,频率响应10Hz~50MHz
驱动电路 内置双脉冲门极驱动器(±15V/2A输出),上升/下降时间<50ns,可调
兼容性与标准支持
支持封装类型 TO-220、TO-247、TO-264、SOT-227、DBC、裸晶片测试平台(需选配)
测试标准支持 AEC-Q101(车规标准)测试项目完整覆盖:VBR、IGSS、VCE(sat)、td(on/off)、Eon/Eoff
IEC 60747-9(工业用半导体器件测试标准)动态响应、电气特性规范
测试环境要求
操作温度 10~35°C
湿度范围 20~80% RH(无凝露)
电源要求 AC 220V ±10%,50/60Hz,功率≤2kW
系统性能
测试速度 ≤30秒/器件(包含静态+动态参数全覆盖,自动切换)
自动化功能
自动探针压接检测 接触确认
测试失败报警与标记系统 支持
批量测试与数据导出 支持CSV、Excel、SQL兼容
用户界面
屏幕 触控式HMI屏幕(10.1英寸)
上位机软件 支持Windows 10/11,USB或LAN接口连接
自定义功能 测试流程、判定条件、报表模板可自定义
扩展性与选配模块
温控平台 室温~150°C
高频大电流驱动器 >5A门极驱动
高压绝缘探头 支持
自动进样机械臂接口 适配流水线